材料分析｜ユーロフィンEAG

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いまさら聞けない！
SEM-CL分析の基礎ウェビナー

■ ABOUT

半導体や絶縁体材料の特性を支配する、微細領域の光学的・電気的性質。その真の姿を捉えるためには、従来の分析を超えた「解像度」と「感度」が不可欠です。

本ウェビナーでは、一般的な放物面鏡型とは一線を画す、CL専用設計の特殊光学系を搭載した最新のSEM-CL（カソードルミネッセンス）分析をご紹介します。桁違いの集光効率がもたらす「超高感度」なデータと、液体He冷却による「極低温」環境でのルーチン測定が、いかにしてデバイス開発の課題を解決するかを徹底解説いたします。

■ このような課題をお持ちの方におすすめ

• ワイドギャップ半導体（SiC、GaN等）の欠陥や不純物評価を深化させたい

• 従来のCL装置では感度が足りず、微弱な発光現象を捉えきれない

• 室温では熱振動に埋もれてしまう発光ピークを、極低温で精密に分離・評価したい

• 材料の結晶性やバンド構造、トラップ準位の詳細な分布を可視化したい

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