材料分析｜ユーロフィンEAG

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いまさら聞けない！
ウエハ金属汚染分析の基礎ウェビナー

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デバイスの微細化・高集積化が加速する中、わずかな金属不純物や有機物汚染が製品の信頼性を左右する死活問題となっています。

本ウェビナーでは、最大300mmウエハーに対応した最新の分析ソリューションをご紹介。高度なTXRF（全反射蛍光X線分析）やVPD-ICP-MSを駆使した超高感度な金属汚染評価から、見落とされがちな有機物汚染、さらには表面形状評価まで、デバイスの品質管理を劇的に進化させる技術の要点を解説いたします。

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