材料分析｜ユーロフィンEAG
【動画視聴】
いまさら聞けない！XPS & AES分析の基礎ウェビナー
■ ABOUT
XPS（X線光電子分光法）はプローブにX線を使用しているため試料のチャージアップの影響が少ないことから、金属・半導体・有機物・セラミックスなどと測定対象は幅広く、表面数nmの分析を行う際にて最初に行う分析として利用されるケースが多いです。
同じく表面数nm を分析できるAES（オージェ電子分光法）は、プローブに電子線を用いていることから数10nm程度の微小領域の分析を可能です。XPSとAESは共通点も多い一方で、それぞれの特徴をうまく組み合わせることにより様々な種類の試料の分析を可能にしています。
XPS・AES分析の共通点
- 表面から数nm程度の分析が可能
- Li以上の全元素が測定可能
- 検出下限は約0.1atom%程度
- イオンスパッタリングを併用することで深さ方向分析が可能
ウェビナーではXPSとAES分析の基礎と分析事例をご紹介しています。
■ お問合せ
ユーロフィンEAG株式会社
マーケティング担当まで
お問合せフォームはこちら
