材料分析|ユーロフィンEAG
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SIMS分析のデータ解釈ウェビナー
■ ABOUT
SIMS(二次イオン質量分析法)はドーパントや極低濃度の不純物を検出する分析手法です。
SIMS分析で正しくデータ解釈をするためには多層膜構造におけるマトリックス効果の影響や、定量値を正しく解釈するためには装置におけるバックグラウンドレベルなどを気に掛ける必要があります。
ウェビナーではSIMSのデータ解釈における注意点や、解釈の仕方をわかりやすく解説いたします。
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