材料分析｜ユーロフィンEAG

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GDMSとSIMSの使い分けウェビナー

■ ABOUT
GDMS（グロー放電質量分析）とSIMS（二次イオン質量分析法）は両方ともppm～pptの感度で深さ方向の分析が行える分析技術です。
GDMSはバルク試料内の微量不純物定量によく用いられ、主には高純度金属・合金、カーボン・黒鉛、半導体材料、セラミックスの分析に利用することが多いです。
SIMSは薄膜中のドーパントプロファイル分析、イオン注入のプロファイル分析、薄膜構造解析などに用いられ、半導体、絶縁膜、金属膜などにの分析に利用されています。
ウェビナーでは、この二つの分析手法について"使い分けのポイント"や"技術相違点"・"各分析に適した試料"などを解説しています。

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